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Intelligent and Active Gas Detection System for Semiconductor Manufacturing - MOXA Industrial IoT Case Study
用于半导体制造的智能主动气体检测系统
作为全球最大的半导体制造商之一,我们的客户需要不断完善和扩展其制造能力,以满足对电子产品不断增长的需求。半导体制造需要使用危险化学品和气体进行微小的纳米级操作。为了在保持高精度的同时继续提高制造能力,制造商通过新工厂扩大了运营,该工厂将采用新的气体检测报警技术。系统要求• 监控和数据采集 (SCADA) 系统上的异常气体水平的实时警报 • 具有本地控制逻辑的本地警报,以提醒人员高气体水平 • 混合模拟和数字 I/O 解决方案,用于更广泛的设备兼容性 •高可靠性
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